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電子化學品過濾解決方案

 

微電子行業應用的超凈高純試劑,國際上通稱工藝化學品(process chemicals),美國、歐洲和我國臺灣地區稱為濕化學品(wetchemicals),是電子技術微細加工制作過程中不可缺少的化工材料之一。用于芯片的清洗和蝕刻,其潔凈度和純度對集成電路的成品率、電性能及可靠性影響重大,主要控制試劑中顆粒和離子的含量。邁博瑞使用先進的設備工藝,對過濾產品進行嚴格的潔凈度的管控,低析出,低金屬離子產品,為半導體行業的穩定、安全、可靠生產提供了幫助。

電子化學品過濾產品

制程工藝 邁博瑞推薦濾芯系列*
特殊化學品過濾 FluorPure-EV類全氟(FEV 系列)PVDF 外殼的疏水全氟濾芯
AfsPure全氟折疊(ACG 系列/AFG系列)超強化學兼容性的 PFA 全氟濾芯
UltiPure 小胖全氟濾芯(Ø83 AF系列)高流速、高清潔度的全氟濾芯
Wet-Fluoride系列全氟濾芯 半導體用全氟濾芯
Wet-Fluoride系列全氟濾芯囊式 半導體用全氟囊式濾芯
Wet-Vast系列  半導體用HDPE外殼的PTFE折疊過濾濾芯
Wet-Mega系列 半導體用PP外殼的PTFE折疊過濾濾芯

*詳細的技術解決方案和產品系列信息,請聯系您身邊的MS銷售工程師

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